OMAL气动执行器在半导体制造行业超纯水工艺上的解决方案
作者： 得锐自动化发表时间：2023-10-07 14:10:57浏览量：141【小中大】
半导体制造行业是当今科技领域的重要组成部分，对于超纯水的需求量较大，要求水质极高的纯净度，以保证半导体产品的质量和精度。在光刻技术精度不断缩小到10纳米以下的今天，对于超纯水的要求在晶圆制造过程中已...
半导体制造行业是当今科技领域的重要组成部分，对于超纯水的需求量较大，要求水质极高的纯净度，以保证半导体产品的质量和精度。在光刻技术精度不断缩小到10纳米以下的今天，对于超纯水的要求在晶圆制造过程中已经变得极为严格。超纯水（UPW）是指按照极其严格的规格进行净化处理后的水，其具有特定的成分和特性，是半导体制造过程中不可缺少的关键因素。
为了获取符合规格等级的超纯水，需要借助专门的抛光系统来处理高纯水。这个过程中，超纯水会通过使用超高纯管道（通常也称为pvdf管道）进行输送，以去除污染物、矿物质、微生物以及微量有机和无机化学品。随后，符合规格等级的超纯水会输出并用于晶圆厂的各种工艺流程中，如晶圆清洗、冲洗、表面处理、湿法蚀刻、溶剂流程和化学机械平坦化等。
在这个过程中，OMAL气动执行器发挥着重要的作用。它可以被用于UPW抛光解决方案、存储和分配系统中，确保超纯水在整个输送和处理过程中能够得到精确的控制和分配。通过使用OMAL气动执行器，可以更好地确保超纯水工艺的稳定性和可靠性，进一步提升了半导体制造的质量和效率。
在半导体制造行业的超纯水工艺中，OMAL气动执行器主要有以下3个方面的作用：
1. 水质监测：通过使用OMAL气动执行器配备的感应器，对超纯水的各项指标进行实时监测，如PH值、电导率、压力、温度等，以确保水质达到半导体制造的要求。
2. 阀门控制：OMAL气动执行器可以精确控制超纯水工艺中的各种阀门，实现自动化控制和调节，保证工艺流程的正常运行。
3. 流量控制：OMAL气动执行器可以通过调节阀门的开度，实现对超纯水流量的精确控制，以达到生产工艺的需求。
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