OMAL拨叉式气动执行器在半导体制造水回收工艺上的解决方案
作者: 得锐自动化发表时间:2023-10-07 14:56:21浏览量:616【小中大】
半导体制造过程中,水管理是至关重要的环节。在半导体制造业中,工厂主要依靠超纯水(UPW)进行晶圆加工。在加工使用后,UPW废水会含有不同种类和浓度的污染物,包括金属离子、有机物和微粒物质等。这些废水通常...
半导体制造过程中,水管理是至关重要的环节。在半导体制造业中,工厂主要依靠超纯水(UPW)进行晶圆加工。在加工使用后,UPW废水会含有不同种类和浓度的污染物,包括金属离子、有机物和微粒物质等。这些废水通常被排放到污水处理系统中。
由于污水中的毒性,必须对其进行处理成为干净的水,然后重新使用或者从晶圆厂排出。为了解决半导体制造过程中的水回收问题,OMAL拨叉式气动执行器提供了一种有效、可靠的解决方案。
OMAL拨叉式气动执行器采用先进的机械结构和气动技术,可以有效地控制和调节水回收工艺中的阀门和管道。通过控制和调节阀门和管道,可以实现废水处理的各种工艺过程,包括沉淀、过滤、消毒和检测等。
通过使用OMAL拨叉式气动执行器,半导体制造水回收工艺可以实现自动化控制,提高废水处理效率,减少人工操作误差和错误。此外,拨叉式气动执行器还可以提高水回收工艺的安全性和可靠性,减少废水排放对环境的影响。
OMAL拨叉式气动执行器是半导体制造水回收工艺中的一种高效、稳定、可靠的解决方案,可以有效地处理和回收废水和废气,提高生产效率和质量,并保护环境和人体健康。